暖暖春日里盎然的自然万物、炎炎夏日里翘首以盼的流星、浓浓秋意中如蝶摇曳的落叶、皑皑白雪下覆盖的岩石······一年四季斗转星移，理工科的浪漫“镜”在眼底。

在扫描电子显微镜下看到的TNM合金不同组织和形态

此外，在扫描电子显微镜下，我们还可以看到多种材料的微观形貌。

陶瓷材料的不同断口形貌

钙钛矿量子点（上）和锂镍锰钴氧化物（下）的微观形貌

果蝇纤毛（上）和医用口罩外层纤维（下）的微观形貌

以上妙趣横生的图片皆出自广东以色列理工学院电镜中心扫描电子显微镜（Scanning electron microscope-SEM）（型号：Zeiss GeminiSEM 450）。

下面，就让我们来详细了解一下这台神奇的扫描电子显微镜吧！

主要应用领域

• 高分辨率形貌观察

• 半导体材料失效分析

• 材料成分及晶体结构分析

主机配置

除Gemini2双聚光镜电子光学镜筒、80mm样品交换室及等离子清洗仪之外，该设备还配置了七个用于不同模式的探测器。

优势

• 无漏磁物镜设计，可以对弱磁性材料等极具挑战的样品进行高品质成像；

• 探测模式多样，在低真空模式下，几乎可对任意一种类型样品成像，如电子束敏感型样品、无导电涂层样品等样品；

• 加速电压在0.02～30kV范围内连续可调，探针束流在3pA-40nA范围内连续调，针对样品特性，可自由选择合适的电压和束流组合进行成像和分析；分辨率在15kV的加速电压下可达到0.7nm；

• 可在低束流的高分辨率成像与高束流的分析模式之间无缝切换，此外，可配备能谱仪和背散射电子衍射探测器，用于材料成分及晶体结构分析。

广东以色列理工学院材料学院电镜中心

广东以色列理工学院拥有世界一流的学术环境和科研团队。当前正在加紧建设的广以材料学院电镜中心(Electron Microscopy Center-EMC)是一个跨领域、跨学科，集分析测试服务、基础研究和应用研究为一体的综合性开放平台。电镜中心以材料的微观表征为切入点，用多种电子显微方法研究不同材料的微观结构和化学成分(可至原子水平)，并建立微观结构、化学成分和材料性能之间的内秉关系，为材料性能优化和进一步应用提供基本的科学支撑。

平台支撑

电镜中心的研究方向包括材料科学、凝聚态物理、能源、纳米学科与技术交叉等重要的学科领域，主要包含的高端仪器设备有透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope-TEM）、双束聚焦离子束系统（Focused Ion Beam system-FIB）、扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope-SEM）。

建设进展

当前，扫描电子显微镜（SEM）已入驻广东以色列理工学院电镜中心，目前处于调试阶段，即将开放使用，透射电子显微镜（TEM）和双束聚焦离子束系统（FIB）也将在今年内入驻广以电镜中心。

示范合作

目前，广东以色列理工学院材料学院电镜中心已与德国卡尔蔡司（Zeiss）电子显微镜公司合作建立扫描电镜示范实验室；与美国赛默飞(Thermo Fisher)公司、美国阿美泰克(Ametek)公司建立了示范实验室合作计划，是粤东高校最高端的电镜分析平台。

中心团队

广东以色列理工学院材料学院电镜中心团队由电镜中心主任茶丽梅（二排左），以及申静芳（前排左）、张文静（前排右）、司志祥（二排右）3位经验丰富的电镜工程师组成。

茶丽梅，电镜中心主任；博士毕业于德国马普学会金属所，师从著名透射电子显微学专家德国科学院院士Manfred Ruehle教授，在材料微观结构及电镜分析领域背景深厚，有坚实的理论知识基础和丰富的实践经验。在德国、奥地利、法国等欧洲顶级国家实验室电镜团队从事材料分析研究工作十余年，并与国内外顶尖团队交流合作。回国后曾独立主持并合作开展7项国家级和省部级自然科学基金。2018年中入职广以，开始策划搭建广以电镜中心。

三位电镜工程师分别在哈尔滨工业大学、浙江大学、山东大学、北京工业大学、太原理工大学、中国航发贵州黎阳航空动力有限公司等单位有学习工作经历，积累了扎实的电镜理论基础和丰富的实践经验，可熟练操作及维护多类型电子显微镜。

文：GTIIT传媒与公共事务部

图：GTIIT电镜中心、GTIIT传媒与公共事务部